ISLANDIA, New York, 2 Oktober 2025 – Festo telah mendemonstrasikan alur kerja yang terhubung untuk manufaktur semikonduktor, dengan fokus pada penanganan dan pemrosesan wafer yang krusial. Pameran aplikasi terbaru perusahaan ini menyoroti bagaimana komponen otomasi inovatifnya meningkatkan presisi, efisiensi, dan keandalan dalam fabrikasi wafer.

Hub Pusat: Penanganan dan Penyelarasan Wafer

Inti dari demonstrasi terbaru Festo adalah modul hub pusat yang memulai perjalanan wafer semikonduktor. Dilengkapi dengan sistem gantry terbalik, hub ini menyediakan alternatif yang hemat biaya dibandingkan robot SCARA tradisional untuk pengambilan dan pemindahan wafer. Gantry mengambil wafer dari Front Opening Unified Pod (FOUP)—kontainer pengangkut khusus—dan memindahkannya dengan cepat dan akurat, memastikan pemindahan yang cepat dan andal dari penyimpanan ke lini produksi.

Gantry ini dilengkapi dengan wafer end-effector unik yang terintegrasi dengan wafer aligner, alat revolusioner yang menggabungkan penggenggam wafer dan penyelarasan sub-mikron menjadi satu perangkat ringkas. Hal ini mengurangi kompleksitas sistem sekaligus menjamin pemosisian yang presisi sebelum wafer maju ke tahap proses berikutnya.

Pengolahan dan Pelapisan Kimia

Setelah pemrosesan hub pusat, wafer dapat dirutekan ke Modul 1, yang mensimulasikan proses kimia basah. Alur kerja dimulai dengan pembersihan FOUP, memanfaatkan Pengontrol Aliran Massa (MFC) Festo untuk menjaga lingkungan bebas kontaminasi sebelum wafer terpapar.

Wafer kemudian dimasukkan ke stasiun pelapisan, di mana solusi "suction back" Festo—dipasangkan dengan sumbu linear elektrik—memungkinkan pergerakan nosel yang presisi di seluruh permukaan wafer. Sistem ini memastikan pengendapan kimia yang seragam, meminimalkan limbah, dan meningkatkan kualitas produk.

Pemrosesan Vakum dan Pemosisian Mikro

Sebagai alternatif, wafer dapat dipindahkan ke Modul 2, yang mendemonstrasikan proses berbasis vakum seperti etsa kering. Di sini, teknologi Festo mengontrol pembukaan dan penutupan katup celah dan katup gerbang secara perlahan, memastikan masuknya wafer secara lancar ke dalam ruang vakum.

Di dalam ruang, pin pengangkat pneumatik dengan hati-hati memposisikan wafer ke chuck. Demonstrasi ini juga menyoroti sistem pemosisian mikro pneumatik yang mampu menempatkan cincin fokus dengan presisi tingkat mikron, menunjukkan kontrol presisi yang dibutuhkan untuk manufaktur semikonduktor tingkat lanjut.

Inovasi Terhubung untuk Keunggulan Semikonduktor

Demonstrasi yang saling berhubungan ini menggarisbawahi bagaimana komponen-komponen Festo—dari gantry yang hemat biaya hingga penyelarasan terintegrasi dan sistem kontrol fluida presisi—bekerja secara harmonis untuk meningkatkan hasil, akurasi, dan keandalan dalam produksi semikonduktor modern.

Festo memainkan peran penting dalam industri semikonduktor, memasok komponen dan solusi penting untuk proses front-end dan back-end. Penawarannya meliputi:

• Penanganan wafer yang lembut dan tepat
• Sistem pembersihan nitrogen (N₂) efisiensi tinggi
• Komponen yang kompatibel dengan ruang bersih
• Digitalisasi, proses berbasis AI, dan pemeliharaan prediktif
• Program pelatihan dan pengembangan tenaga kerja terdepan di industri

Untuk informasi lebih lanjut, kunjungi halaman solusi semikonduktor Festo pada menu tarik-turun "Solusi" di situs webnya, atau hubungi perwakilan penjualan atau mitra distribusi Festo.